雙溫區(qū)管式爐設(shè)備由雙溫區(qū)管式爐园细、溫控蒸發(fā)器、濕度監(jiān)測器三部分組成。溫控蒸發(fā)器和濕度監(jiān)測器的組合可以持續(xù)產(chǎn)生符合試驗配比要求的水蒸氣无畔,即通過觀察濕度監(jiān)測器的示數(shù),相應(yīng)的調(diào)節(jié)溫控蒸發(fā)器的加熱速率即可調(diào)節(jié)水蒸氣產(chǎn)生速率。雙溫區(qū)管式爐若再配合三路浮子流量計即可實現(xiàn)對通入氣體成份和濕度的準確控制,適用于CVD工藝中的液體源和化學(xué)前體輸送及刻。
雙溫區(qū)管式爐具有安全可靠,操作簡單竞阐,控溫精度高缴饭,保溫效果好,爐膛溫度均勻性高骆莹,可通氣氛抽真空等特點颗搂,廣泛應(yīng)用于高等院校,科研院所幕垦,工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)金屬材料處理實驗丢氢、質(zhì)量檢測和小批量生產(chǎn)等。
該雙溫區(qū)真空管式爐不僅可以抽真空先改,也可以通保護性氣氛疚察。開啟式爐膛結(jié)構(gòu)有利于爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡單盏道。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結(jié)狀態(tài)稍浆。本管式爐爐管水平穿過爐膛,加熱元件呈四周均勻分布猜嘱,溫場均勻,爐管內(nèi)部和爐膛之間的內(nèi)外溫差可控制在3度左右
雙溫區(qū)管式爐具有以下優(yōu)點:
1.高效:雙溫區(qū)管式爐在金屬件熱處理過程中嫁艇,可實現(xiàn)快速加熱和冷卻朗伶,提高生產(chǎn)效率和加工速度。
2.準確:雙溫區(qū)管式爐可控性好步咪,能夠準確控制金屬件的加熱论皆、保溫和冷卻過程,以達到想要的熱處理效果猾漫。
3.可靠:雙溫區(qū)管式爐采用溫控和控制系統(tǒng)点晴,確保金屬件的熱處理過程穩(wěn)定可靠。
4.節(jié)能:雙溫區(qū)管式爐采用高效的加熱元件和隔熱材料悯周,使能耗和熱損失降低粒督。