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簡要描述：1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐即寒，可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動爵川，可使?fàn)t管快速冷卻策添；本機(jī)可在不同氣氛下，在≤6″的基片上生長多種薄膜东亦。
產(chǎn)品型號：BLMT-1200GH廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-05-08訪 問 量： 2201產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 博萊曼特 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐杏节，可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動典阵，可使?fàn)t管快速冷卻奋渔；本機(jī)可在不同氣氛下，在≤6″的基片上生長多種薄膜壮啊。
控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號 | 滑動式真空管式爐YB-1200GH | ||
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下嫉鲸，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用歹啼。 1玄渗、水：需要選配冷水機(jī) 2、電：AC220V 50Hz狸眼，必須有良好接地 3藤树、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭拓萌，可自費改制成為雙卡套接頭） | ||
主要特點 | 1岁钓、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)司志。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料甜紫，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃骂远。 2囚霸、滑軌式結(jié)構(gòu)，方便取放樣品以及快速冷卻激才。 3拓型、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。 4瘸恼、采用PID控制器劣挫，可以設(shè)置30段升降溫程序。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1东帅、電源：單相220V/380V 8KW 2压固、石英管：外徑80mm，內(nèi)徑70mm靠闭，長1500mm 3帐我、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲 4坎炼、加熱區(qū)域：400mm 5、恒溫區(qū)域：200mm 6拦键、工作溫度：≤1100℃谣光，連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、升降溫速率：≤10℃/min 8芬为、控溫精度：±1℃ 9萄金、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵） 10媚朦、熱偶檢測真空接口：KF-25口：1個 11氧敢、進(jìn)氣接口：2路（可根據(jù)客戶要求設(shè)計多路進(jìn)氣），精密不銹鋼針閥密封 12莲镣、爐體：1300mm×680mm×920mm 13福稳、滑軌：600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：1780mm×1780mm×1650mm涎拉；重量：354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個 |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個 | |
可選配件 | 1瑞侮、軟件接口 2、K型熱電偶（用于對爐膛溫度校準(zhǔn)） 3鼓拧、冷水機(jī) 4半火、高速雙極旋片泵 5、數(shù)顯真空計 6季俩、高真空機(jī)組（機(jī)械泵和渦輪分子泵） 5钮糖、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 6、石英樣品架 7酌住、可移動爐架（800mm×600mm） | ||
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